1. Čistota vzduchu v čisté místnosti by měla být testována následovně
(1) Prázdný stav, statická zkouška
Test prázdného stavu: Čistá místnost byla dokončena, vyčištěný klimatizační systém je v normálním provozu a test se provádí bez procesního zařízení a výrobního personálu v místnosti.
Statický test: Systém klimatizace pro čištění čistých prostor je v normálním provozu, procesní zařízení bylo nainstalováno a test se provádí bez výrobního personálu v místnosti.
(Dva) dynamický test
Čistá místnost byla testována za normálních výrobních podmínek.
Zjišťování objemu vzduchu, rychlosti větru, přetlaku, teploty, vlhkosti a hluku v čistém prostoru lze provádět v souladu s příslušnými předpisy pro všeobecné použití a klimatizaci.
Tabulka úrovně čistoty vzduchu v čisté místnosti (oblasti).
Úroveň čistoty | Maximální přípustný počet prachových částic/m3≥0,5μmPočet prachových částic | ≥5μmPočet prachových částic | Maximální přípustný počet mikroorganismů Planktonické bakterie/m3 | Usazování bakterií/nádobí |
100třída | 3 500 | 0 | 5 | 1 |
10 000třída | 350,000 | 2,000 | 100 | 3 |
100,000třída | 3,500,000 | 20,000 | 500 | 10 |
300,000třída | 10,500,000 | 60,000 | 1000 | 15 |